追求更小尺寸，3DIC将获得广泛应用？什么h是3DIC？传感器该如何使自己更“苗条”

3DIC未来将大势所趋，抢占IC业界“龙头”

3D CPU是基础芯片，比目前的2D CPU 运行速度快千万倍，还可发展出3D 生物芯片、3D 云端端伺服器等应用芯片。3D 生物芯片及3D 云端伺服器需要平行处理巨量资讯，需要3D-CPU 来处理，3D-CPU就是很好的平行处理器。

目前2.5D-IC 封装技术广泛用来生产手机与平板电脑等，3D IC 仍处于early stage，初期价格偏高，为2.5D-IC 价格的3～5倍，只能先应用于工业与医疗领域。云端伺服器与医疗生医仪器等工业电子仪器，价格比手机与平板个人电脑贵很多，这些高价的电子仪器都需要平行处理大量资讯，非用3D-CPU 不可。

若资金到位，约一年半至两年即可完成开发，并大量导入市场。郑秋雄说，只要3D-CPU 开发成功，进入市场并不难，因为很多高档的电子仪器都需要3D-CPU。该公司的目标是成为中国3D IC 市场的龙头产业。

那么如何将3DIC和传感器联系起来呢？

系统工程师在开发复杂的电子产品，例如传感器和传感器接口应用时，他们所面临的重大挑战为更小的外形尺寸、杰出的功能、更佳的效能及更低的物料列表成本（BoM）。设计者可以采用具有较高整合密度的较小制程节点来缩减晶方尺寸，同时也能使用先进的封装技术来实现系统小型化。

3DIC成为缩小传感器IC新解方

对于更高系统整合度的需求持续增加，这不只促使传统的组装服务供货商，也推动半导体公司开发更创新和更先进的封装技术。 最具前景且最具挑战性的技术之一就是采用硅通孔（TSV）的三维积体（3DIC）。 3DIC技术现在已被广泛用于数字IC（例如，内存IC、影像传感器和其他组件的堆栈）中，其设计和制造方法已经在数字世界中获得成功证明。 接下来，设计者要如何将3DIC技术成功导入以模拟和混合讯号为主的的传感器IC中？

在今日，走在前面的模拟和混合讯号IC开发商已开始意识到采用模拟3DIC设计的确能带来实质好处。 智能传感器和传感器接口产品锁定工业4．0、智能城市或物联网（IoT）中的各种应用。 在各种芯片堆栈技术中，TSV和背面重新布局层（BRDL）可用来替代传统金线接合，此技术的用处极大。

3D积体技术，特别是来自领导晶圆代工业者的特殊模拟TSV技术，在结合正面或背面重新布局层（RDL）后，由于互连更短且能实现更高的整合度，因此能以更小的占板面积提供更多功能。 特别是小尺寸的TSV封装技术（总高度在0．32mm范围内）能解决智能手表或智能眼镜等穿戴式装置的的小尺寸需求。

在不同的芯片或技术组合中，TSV技术还能提供更高水平的灵活度，例如采用45奈米制程的数字芯片中的芯片至芯片堆栈，以及在模拟晶圆（例如180nm）中，微机电（MEMS）组件或光传感器和光电二极管数组的堆栈，这只是其中的几个例子。

模拟3DIC技术通常是透过建造芯片正面到IC背面的电气连接来实现传感器应用。 在许多传感器应用，例如光学、化学、气体或压力传感器中，感测区域是位在CMOS侧（晶圆的顶端）。 芯片和导线架之间最常用的连接是打线接合（Wire bonding）（图1）。 无论是使用塑料封装，或是将裸片直接接合在印刷电路（PCB）或软性电路板上，对于某些会将感测区域暴露出来的应用而言，打线接合并非理想的解决方案。 采用专业晶圆代工业者的专有TSV技术，可以利用TSV、背面RDL和芯片级封装（WLCSP）（图2）来替代打线。

类似于半导体技术，新的制程技术是透过使用更小的几何形状和设计规则（摩尔定律）提供更高的效能和更高的积体密度，下一世代的TSV技术将优于当前可用的3DIC技术。 一些专业晶圆代工业者正在开发下一世代TSV技术，其直径（约40μm）将大幅缩小，因此能提供更小的间距和更高的密度，同时提供相同或甚至更好的模拟效能。 这种下一代TSV技术是新3D应用的基础，晶圆代工业者正在开发提供全新服务，像是所谓的「第三方晶圆上的接垫置换（Pad Replacement on 3rd Party Wafer）」或「主动3D中介层（AcTIve 3D Interposer）」等。

另外，直径和间距更为缩减的下一世代TSV技术，将能够透过结合背面RDL和晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP的）TSV，也就是所谓的3D－WLCSP来替换任何已经处理和完成的晶圆的接垫（Pad）。 即使在制造过程完成后，客户也能够灵活地决定产品是否应在正面进行打线接合，或者在背面使用WLCSP技术进行凸块封装。 这种新技术概念允许在任何芯片，甚至是在第三方芯片上处理TSV，做为后处理步骤之一（后钻孔概念）。 在TSV开发方式中，其直径和最小间距能极佳地匹配第三方芯片所采用制程的接垫需求（图3）。

硅中介层为3DIC创新技术

3DIC技术的另一个变化和极为创新的发展，是硅中介层架构（Silicon interposer architecture）。 所谓的被动3D硅中介层是用来产生一个从芯片的顶端到底部的简单电气连接。 所谓的主动3D硅中介层能支持实现完整CMOS设计所需制程技术的所有被动和主动组件。

晶圆代工领导厂商提供3D中介层技术，这些技术通常是基于0．18μm模拟专业制程，具有各种制程模块，例如金属绝缘层金属电容（MIM cap）、高阻值多晶硅电阻（Poly resistor）、最多六个金属层、厚顶金属电感（Thick top metal）等，还有更多。 主动中介层具有正面和背面接垫，前侧接垫可用于组装／堆栈任何种类的晶方，例如传感器或MEMS组件，背面接垫则主要用于电路板层级的整合（图4）。 提供各种尺寸闸球和间距的WLCSP技术是由晶圆厂提供的额外服务。 另一个选择是，背面的接垫可以用于将更远的芯片附着于底部。

设计套件整合加速开发时程

领先的模拟晶圆代工业者确实为IC开发提供了设计环境。 理想而言，一些极少的产业基准制程开发工具包（PDK）确实能提供创建复杂的混合讯号设计所需的全部建构区块，而这些设计是基于专业晶圆代工业者的先进晶圆制程技术，并且适用于所有主要的先进CAD环境。

透过些微的修改，已经建立了3D积体参考设计流程，这让设计者得以对3D积体IC系统进行全部功能和物理的验证。 PDK有助于针对裸片尺寸、效能、良率和更短的上市时间实现更有效的设计，并为产品开发人员提供一个「首次就正确」设计的可靠途径。

改善尺寸／降低物料成本 3DIC技术发展潜力佳

3DIC技术广泛用于内存IC、影像传感器及其他组件的堆栈，并且已经在数字世界成功获得证明。 在模拟和混合讯号主导的应用中，为客户提供先进的3DIC技术，这是晶圆代工业者所面临的主要挑战。

藉由缩小TSV直径、减少TSV间距，并与晶圆级芯片尺寸技术结合，3D系统架构得以能够取代传统2D系统级封装解决方案。 3DIC概念，例如接垫替代技术或主动中介层将大幅改善系统的外形尺寸、提高效能，并有助降低物料列表成本，这是物联网领域中所有行动设备、穿戴式装置或智能传感器装置的关键所在。