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背照式图像传感器


背照式(BSI)图像传感器是指采用从背面对传感器进行照明,即采用背面照度技术(BSI)的传感器。采用BSI构建像素,光线无需穿过金属互连层。然而,这仍然对光路径带来一些限制,幸运的是,促使FSI技术不断改进的许多知识和技术进步可以直接应用于BSI技术,从而为提高BSI性能打下了坚实的基础。

BSI的主要优势是能够使电气组件与光线分离,使光路径能够被独立地优化,反之亦然。而且,这无需在金属层或光导管中创建一个孔径,从而消除了入射光的损耗机理。其最终结果是BSI能够获得更高的QE。BSI图像传感器超越传统FSI器件的另一个主要优势是像素的光堆叠高度更低。但应当注意的是,相比具有光导管的FSI架构,这一优势并不明显,这是因为对于后者,由于光线在互连堆叠的顶部聚集,并由光导管限制和导引到光电检测器表面,有效光堆叠高度也会减小。

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