韩企量产氟化氢 推进半导体材料国产化

　　韩国SK Materials6月17日表示，已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产。据称达到了一定水平的高纯度，三星电子和SK海力士将采用。针对日本加强对韩出口管制的半导体相关材料，韩国企业的国产化正在取得进展。

　　SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示，实现量产的氟化氢气体达到被称为“five nine（5个9）”的纯度，即99.999%。虽然品质仍低于日本原材料厂商此前出口的11个9这一超高纯度的“Eleven Nine”，但在半导体晶圆的清洗等一部分生产工序已开始使用。

　　SK Materials在日本加强对韩出口管理之后，于2019年11月建立了相关材料的开发中心。在充分利用SK海力士设立的基金资金的同时，一直推进实现氟化氢量产化的研发。目前已使全年15吨规模的生产设备投入运行，计划到2023年将韩国国内半导体生产所用的氟化氢的国产化比率提高至70%。

　　日本去年7月开始限制三种高科技材料对韩国的出口，威胁到韩国经济的支柱芯片产业，以及全球科技部件供应链。韩国企业寻找代替供应企业，韩国的材料厂商获得政府支援，一直在加快相关材料的国产化。