至纯科技半导体清洗设备交付加快 新增订单量大增

　　今年，至纯科技半导体湿法清洗设备交付能力开始增强。至纯科技官方微信公众号发布的消息显示，6月19日，随着交付给华虹集团ICRD有着特殊清洗要求的300MM单片式湿法设备搬入，2020年上半年，至纯旗下至微科技的单片清洗和槽式湿法设备在二季度出机超过了十台。而去年全年完成近20台设备装机，交付速度明显加快。

　　至纯科技从2017年投入半导体湿法清洗设备槽式装备和单片装备的研发，至2019年末，已经完成了多个工艺的8英寸及12英寸全自动槽式装备，8英寸及12英寸4腔单片装备，12英寸12腔先进工艺单片装备的研发及制造。客户已扩展到国内外半导体行业如中芯国际、德州仪器、台湾力晶等知名企业，订单逐年增加。

　　6月23日，至纯科技公告定增14.9亿元的申请已得到证监会受理，一旦多家国资半导体产业投资基金战投9.7亿元成功，将助力公司在国内半导体产业链中的国产化替代加快，包括高纯工艺系统在内的公司整个半导体领域业务或将高速增长。

　　半导体清洗设备交付加快

　　将背面的金属污染物清除，把颗粒洗净，让晶圆以最佳状态进曝光机，避免曝光机因晶圆背面缺陷问题(金属和颗粒)，把停机的时间降到最低。清洗设备在半导体生产过程中起到关键作用，而制程越先进对小尺寸污染物的清洗要求越高。

　　至纯科技半导体业务主要就是半导体湿法清洗设备业务，包括槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8-12反应腔），该设备均为可提供8-12寸晶圆制造的湿法工艺设备。

　　目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有至纯科技、北方华创和盛美在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是，但占比合计不到10%。所以湿法工艺设备的国产化替代潜力很大。

　　进过三年的研发之后，目前至纯科技的单片湿法清洗设备在晶圆表面颗粒清洗能力以及每小时的产出量上，机台性能和工艺将可以支持到14nm以下的工艺技术节点。近期互动平台上，公司直言，槽式湿法设备在质量上与国际水平相当乃至优于国际水平。

　　2018年至纯科技开始开拓半导体业务业务，近两三年的发展已逐渐壮大。2018年公司湿法工艺装备的新增业务订单总额为人民币1.1亿元，而到了2019年达到约人民币1.7亿，该部分订单将于2020年及之后获得收入。

　　截至去年底，已经取得近40台正式订单，已经完成近20台设备装机，包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。其中2018年和2019年公司对中芯集成的销售额分别为1714.4万元、4311.88万元（2019年公司合计获得半导体设备收入8166.24万元）。

　　6月22日，根据至纯科技披露的资料显示，2020年3月起至今，至纯科技旗下至微科技以每月2-3台8寸及12寸湿法工艺设备交付给客户，交付客户包括华润微、楚微，中车，燕东，台湾力积电等。证明公司湿法工艺设备交付速度明显加快。

　　截至2019年末，至纯科技主要在建项目有江苏启微高纯工艺专业生产设备项目、松江区中山街道工业园ZS-13-004号地块工程(波汇科技松江总部及研发中心项目)、半导体湿法设备制造项目、晶圆再生项目，总投资分别为5亿元、4.5亿元、1.8亿元、2.1亿元，其中江苏启微高纯工艺专业生产设备项目设计总产能包括清洗刻蚀设备40台、特气柜500台等，半导体湿法设备制造项目设计总产能将新增半导体湿法清洗设备30台、单片式半导体湿法清洗设备10台，建成之后公司的产能将得以大幅增加。

　　新增订单大幅增长

　　此前高纯工艺集成系统一直是至纯科技主要营收，高纯工艺系统下游产业也包括半导体行业、光伏产业和医药及食品饮料类等。目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，有中芯国际、华虹、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等。半导体领域产品客户相同，所以公司半导体湿法清洗设备开拓较为顺利。

　　2017年至纯科技上市后就开始了资本运作，先收购珐成制药（2019年接近完成了对珐成制药100%的股权收购），2019年4月，再以现金6.8亿元收购汇波科技100%股权，完成了搭建“半导体+生物制药+光电子”三个板块布局。

　　至此公司业务暴增，2017-2019年至纯科技新增业务订单总金额达6.7亿元、9.1亿元、14.2亿，新增订单额比上一年度增长约100%、35.82%、56%。去年公司整体实现营业收入和净利润分别为9.86亿元、1.10亿元，较上年同期分别增加46.34%、239.88%。

　　但半导体始终是公司的重要业务，高纯工艺系统、湿法设备及晶圆再生服务、电子材料及部件均服务于半导体板块，服务于同一批客户。2018-2020年前3月公司半导体营收4.29亿元、3.76亿元、0.18亿元，毛利率分别为24.74%、30.02%、51.27%，毛利率已大幅增长。

　　今年4月30日，至纯科技发布股票发行预案，拟募资不超过（含）人民币14.9亿元，其中北京集成电路基金、中芯涌久、津联海河、国改基金合计投资金额达到9.7亿元，四家基金均为国资专门推动半导体等行业国产化而设立的股权投资基金，已投资国内多家半导体企业。

　　预案公告中，至纯科技称引入上述机构战投将为公司对接高纯工艺系统及半导体湿法清洗装备业务下游客户资源，助力公司获取半导体行业的战略合作机会和业务订单，以促进公司的国产供应链替代的加速实现。

　　行业龙头地位愈发明显

　　至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务。据悉，高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

　　如今，至纯科技在董事长，原行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监蒋渊的带领下，2012年至2019年实现高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是公司现金流稳健增长的主要业务板块。

　　高纯工艺系统能将制程所需的高纯介质从源头稳定传输至终端设备，同时保证高纯介质不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，使介质满足生产工艺的纯度要求，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线中固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%至8%。

　　因至纯科技高纯工艺系统所处行业的特点，决定了公司客户选择系统供应商时较为谨慎，所以客户粘性高，而且行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局，如今至纯科技在国内该行业中龙头地位愈发明显。

　　公司2018年完成的上海华力12英寸28纳米先进工艺产线的建设，直接确立公司在国内高纯工艺领域的龙头地位，高纯工艺系统的新增业务订单总额达8亿元，在细分市场具有较强竞争实力。

　　经过不懈努力，至纯科技如今拥有243项专利权，59项核心技术，其中包括36项高纯工艺系统业务相关核心技术。公司目前已完成多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。

　　如今，至纯科技工艺水平已能够实现PPB（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。据悉，高纯工艺系统主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。

　　目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。

　　“至纯”工艺，为半导体保驾护航

　　芯片制作过程中，不规则的杂质例如颗粒污染物、残留化学物质或其他污染物会降低芯片制造良率，这时就需要清洗工艺去除芯片制造中上一道工序所遗留的各类污染物，提升产品良品率。

　　芯片制造工艺越高，对制造过程中清洗工艺的要求越高，芯片尺寸越低，高效的清洗越难以实现，每个晶片在整个制造过程中甚至需要完成超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。

　　根据SEMI的数据，2017年全球半导体设备的市场空间约在566.2亿美元，清洗设备市场空间约为32.3亿美元。清洗设备占到全部半导体设备投资的6%。

　　或许是瞄准了这一新兴细分产业，至纯科技于2017年成立了独立的半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制造开发平台。目前已经具备生产8至12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖包括晶圆制造、先进封装、太阳能在内多个下游行业的市场需求，公司湿法清洗设备已获得了中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单，截止2019年末，至纯科技累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机。