安芯半导体再出货一台近千万光刻机 国产化进程更快一步

　　据报道，今年3月，福建安芯半导体将一台值近千万元的光刻机交付给杭州海康威视公司用于生产额温枪。该光刻光刻机到货后，杭州海康威视立刻开始进行调试。额温枪是当下疫情防控重要物资，内设一个感温晶片，而光刻机是晶片制造的主要设备之一，同时也是关系到晶片精度的关键设备。

　　1月29日，在收到杭州海康威视公司商请提供的半导体红外设备，以生产额温枪感温晶片的来电后，福建安芯半导体科技有限公司在做好防抗疫情准备的基础上，加快复工复产，加紧设备调试。2月10日，安芯半导体复工。为了让设备尽快交付使用，加班加点赶制订单，最终实现了提前供货。

　　福建安芯半导体总经理张琪表示，“目前我们尚不能完全自主研发，但通过改造、提升，实现了60%至70%的国产化。”

　　时隔一个月后，有消息报道，近日，福建安芯半导体科技有限公司再次出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付国内某研究所用于cmos领域研究。此外，双方将就半导体领域研发进行深入对接，共同推动产业发展。

　　一直以来，福建安芯半导体通过设对步进式光刻机设备翻新、改造和安装调试多年的经验累积，积淀光刻机设备研发技术，进行光刻机主要零部件自主研发替代，推动半导体设备国产化。

　　光刻机是集成电路制造中最精密复杂、难度最高、价格最昂贵的设备，用于在芯片制造过程中的掩膜图形到硅衬底图形之间的转移。世界上只有少数厂家掌握，如ASML、尼康、佳能，因此光刻机价格昂贵。集成电路在制作过程中经历材料制备、掩膜、光刻、刻蚀、清洗、掺杂、机械研磨等多个工序，其中以光刻工序最为关键，因为它是整个集成电路产业制造工艺先进程度的重要指标。光刻机分为接触式、接近式、步进式，目前国内使用较多的为步进式光刻机。

　　据悉，福建安芯半导体是北京新毅东科技有限公司的全资子公司。北京新毅东科技有限公司成立于2014年3月，是一家从事半导体生产线设备业务的高新技术企业，除了向客户提供半导体生产线设备总体解决方案的同时，也向客户提供先进半导体器件的设计、制造等技术咨询。旗下两家全资子公司包括安徽睿芯半导体科技有限公司，拥有1000平米厂房；福建安芯半导体科技有限公司，拥有2000~3000平米厂房。

　　同时，福建安芯半导体还是泉州芯谷南安分园区引进的首家高科技半导体设备公司，主要经营黄光设备设备翻新、改造和安装调试，自主研发新黄光和蚀刻设备的销售及技术支持，并提供半导体整线解决方案，产品涉猎集成电路、LED、MEMS、显示面板、光伏等黄光设备领域。除了向客户提供半导体生产线设备总体解决方案的同时，也向客户提供先进半导体器件的设计、制造等技术咨询。目前，福建安芯半导体主要为中芯国际、三安光电、德豪润达、彩虹蓝光、士兰集成等半导体领域的龙头企业提供设备及服务。

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