苏州敏芯微电子在MEMS芯片领域的国产化探索

　　MEMS技术是随着集成电路发展起来的一门新技术，起源于1947年美国贝尔实验室晶体管的发明。MEMS传感器芯片，就是利用半导体制造技术，在硅片上制造能够采集外界信号的电子机械系统，它实现了全面升级更新。

图自苏州敏芯微电子

　　目前，MEMS（微型机电系统）芯片已悄然渗入各种生活场景。手机里的硅麦传感器、横竖屏感应传感器、汽车上的压力传感器等等，其核心都是MEMS传感器芯片。随着5G时代到来，MEMS芯片的应用场景还在加速拓展。

　　在苏州工业园区独墅湖畔，苏州敏芯微电子技术股份有限公司就是红外MEMS芯片的研发生产企业。此次疫情让包括额温枪在内的各种医用防护器材走进人们的生活。对于这台红外测温仪来说，最核心的零部件就是由红外MEMS芯片封装之后形成的探测器。

　　据了解，经过十余年研发投入，敏芯完成了MEMS产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作和核心技术积累，并帮助中芯国际、华润上华和华天科技等国内半导体制造厂商开发了专业的MEMS晶圆制造与封装测试工艺， 实现了全生产环节的国产化。

　　供应链的稳定很重要。敏芯在MEMS芯片设计方面的能力很强，更重要的是，敏芯把MEMS设计制造的整个产业链串起来了，具备了出产品的能力。这在国内的MEMS产业里是很少见的。

　　相关数据显示，截至2019年6月30日，敏芯已在MEMS传感器领域积累了境内外发明专利38项、实用新型专利17项，正在申请的境内外发明专利16项、实用新型专利8项。2018年，该公司营业收入25271.34万元，年复合增长率为87.17%，净利润6138.37万元，年复合增长率为294.74%。

　　2020年将是敏芯创业史上最重要的年份。冲刺科创板，进而新建MEMS麦克风生产基地项目、MEMS压力传感器生产项目、MEMS传感器技术研发中心建设项目等，敏芯微电子创始人李刚希望抓住产业机会，将MEMS的“中国芯”做强做大。

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