气体传感装置在企业生产车间特气房中的重要应用

在武汉东湖新技术开发区，一家负责手机显示屏加工的微电子企业的特气房生产车间，是该公司防控措施最为严密、也最为安全的场所。据悉，在该公司偌大的车间里，只有10来个身着洁净服的员工。据介绍，前段车间生产均为自动化设备，现场员工日常只负责监控生产设备各项参数。这些设备检修部位都配有各类传感器及安全联锁装置，当手伸进去的时候，设备会联动停止，以防员工受伤。

特气房工程师正在检修

手机显示屏加工，就是在特制的玻璃上印刷电路，从而实现触屏等功能。在制程过程中，需要用到6种特殊气体：氯气、氨气、三氟化氮、六氟化硫、硅烷、磷烷氢混合气，它们或易燃易爆，或有毒有害，均属于危险化学品。

其中，氯气是一种黄绿色有刺激性气味的气体，具有毒性。急性氯气中毒，轻者呼吸系统受损，重者会导致死亡。

进入该公司氯气房后，只见氯气充装在一个密封的特制圆形钢瓶中，钢瓶瓶头阀是气体最容易泄漏的地方，针对这一风险，公司专门制作瓶头阀箱，箱内设负压排气装置、内置有氯气传感器的气体侦测报警器。一旦阀门出现气体泄漏，气体侦测器报警并联动切断气体供应，同时，负压排气可将泄漏气体抽入室外尾气处理装置予以净化。

通往生产车间的氯气管道均为双管：内管通氯气，外管中装有探测器，也有负压，能起到自动监测和排除残留的作用。氯气房还配有物联网显示屏，工厂内哪些区域在使用氯气、流量多大，显示屏上一清二楚。机台、氯气房内外和工厂车间配备了多个紧急切断按钮，发现异常按下任何一个，氯气阀门会自动关闭。

硅烷是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物，广泛应用于微电子、光电子工业。但它又以特有的自燃、爆炸性而著称，自发着火范围宽，燃烧能量极大，是一种高危险性的气体。进入硅烷室前，人员必须关闭手机，并把手放在人体静电释放器上。静电释放器上的绿色灯亮起，方能进入。

硅烷站位于该企业工厂的西南角，为半敞开式建筑，远离主厂房及其它建筑设施。墙上装有火焰探测器等火灾报警装置，以及雨淋等灭火系统。当室内温度升高或探测到火苗时，会联动启动自动喷淋灭火系统。另外，气体传感器装置一旦监测到硅烷泄漏，也会报警，并联动关停硅烷供应系统。