集成电路测试仪器有哪些_集成电路测试仪组成结构介绍

　　什么是集成电路测试仪

集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一，因此，集成电路测试仪作为一个测试门类受到很多国家的高度重视。40年来，随着集成电路发展到第四代，集成电路测试仪也从最初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和超大规模集成电路，到了八十年代，超大规模集成电路测试仪进入全盛时期。

　　集成电路测试仪器有哪些种类

集成电路测试仪器有很多种类，在选择时要根据需要从多方面衡量才能选好，否则必会顾此失彼，劳民伤财，事倍功半！鉴于集成电路本身的多样性，导致了集成电路测试仪器的多样性。

第一，集成电路的性能参数有直流参数、交流参数和功能（又包括静态功能、动态功能），因而有直流参数测试仪、交流参数测试仪、功能测试仪之分。但多数情况下，是把直流参数与功能测试组合在一起，这是典型集成电路测试仪的基本构成方式。

第二，不同类别的集成电路，功能差异很大，因而需要不同的集成电路测试仪。

通常，集成电路分为数字集成电路、模拟集成电路和混合信号集成电路三个大类。

数字集成电路又包含逻辑集成电路、存储器集成电路、专用集成电路（ASIC）。相应的有逻辑集成电路测试仪、存储器测试仪，以及兼有上述各种数字电路测试能力的数字集成电路测试仪。

模拟集成电路包括一般（大都为DC或低频）模拟集成电路和射频模拟集成电路两大类。通常，射频或微波集成电路产量、用途较专业化，专门仪器型号不多，一般模拟集成电路种类、用途甚广，型号较多。且还有许多专门的测试仪，如运算放大器测试仪、集成电源电路测试仪等。

混合信号集成电路是指在一块集成电路里既含数字电路又含模拟电路，典型的如数字一模拟转换器、模拟一数字转换器。

第三，集成电路的集成度不同，测试要求不同，从性能及经济考虑，有不同的测试仪器供选用。典型的分为小规模集成电路（SSI）、中规模集成电路（MSI）、大规模集成电路（LSI）、超大规模集成电路（VLSI）四个级。

第四，集成电路研制、生产、使用阶段测试要求不同，出于性能及经济要求，有不同类型的测试仪器。集成电路研究设计试制中常用的是集成电路直流参数分析仪、集成电路高违功能测试仪、集成电路综合测试系统、集成电路脸证与测试仪。集成电路批量生产中，采用高效率型的集成电路自动测试系统。

在电子整机厂，孺要选用一种经济有效的集成电路测试仪器，对购进的集成电路进行脸收测试。在电子产品的维修部门，通常需选用简易型集成电路测试仪对受怀疑的集成电路进行简易的判别测试。

第五，根据上述各种场合下的不同测试需要，从外形上看，有大型、中型落地式的集成电路自动测试系统，有中、小型台式的集成电路测试仪以及携带式的简易型集成电路测试仪。

　　集成电路测试仪组成

集成电路测试仪的整体结构如图所示：

整个系统机械上采用插槽式结构，所有系统板都通过系统插槽插到机箱背板上，机箱背板上的系统内总线通过PCI接口板与计算机PCI总线相连［3］ 。机箱背板上共涉及12个插槽，其中一个用于插系统控制板，一个用于插电源模块，其余10个是通用插槽，根据测试需要可以插任何一个系统版。被测器件DUT通过继电器矩阵板与测试仪连接，继电器矩阵板完成被测器件DUT与测试仪各通道之间的切换［3］ 。测试仪通过PCI总线与计算机相连，整个系统的控制由计算机完成。该系统可以一次完成两个被测器件DUT的测试。