电感器开发秘史：首例薄膜型电感"LQP31A系列"的诞生

首例薄膜型电感"LQP31A系列"诞生于距今约20年前的1991年。 它和以往卷着铜线的片状电感完全不同。 通过将数十个μm大小的导体设成类似于蚊香的漩涡状，在薄膜工艺上形成以nH为单位的微小电感，实现世界首创的高频片状电感。

该片状电感属于小型薄型尺寸（3.2mm×1.6mm×0.5mm），并且通过使用光刻工艺※实现较高的尺寸精度。与当时片状电感的电感偏差为±10％相 比，该片状电感实现了±2％的较小偏差值。它是一款应用于手机、车载电话等移动通信工具以及BS调谐器等高频电路上的产品。

当时，手机和车载电话只是部分董事长才能用得起的高价产品，而且其体积也很大，不是任何人都可以轻松拥有的产品。那个时代，谁都对手机市场将会扩大这一说法持有半信半疑的态度。

在这样的背景下，我开始负责研发工作。这是在进入村田制作所之后的第一年，也就是1989年。对我而言，这不是我擅长的领域，而且是充满了未知的领域。在当 时的部门里，也没有为开展该项工作而准备的试验器材，可以说我们完全是从零起点开始的。我们从无尘室的成立、烧杯等备用品的准备工作开始，于1990年建 成了试制生产线。虽然说是试制生产线，但是我们还是进行的诸如将戴着橡胶手套的手伸入装有溶剂的容器里，在液体中摇动晶片使其腐蚀的这样的手工操作，是一 个充满手工制作感觉的试制生产线。

我们在该试制生产线上开始了研发工作，并开始调制各种各样的药品，反复进行着试制实验。我们并没有顺利的完成模板，我们一边和未知进行着战斗一边继续寻找着解决方案。当第一个模板制作成功时，我们异常欢喜。那已经是6个月之后的事情了。

从那之后，我们在不断尝试失败的同时继续进行着产品的研发工作。制成第一个能够保证性能和信赖性的产品是在着手开发两年之后的1991年。我们开始了一个月 2万个左右规模的量产。虽说是量产，但也是和试制生产线一样，采用的是手工生产线。当然，成本是当时卷线类型产品的数倍，因此销售起来相当困难。但是这 个"LQP31A系列"的登场堪称之后的1005尺寸、0603尺寸甚至是0402尺寸等小型高频电感登场的先行军。如今，一台智能手机就要使用数十个电感，我们的生产量更是达到了当时的数万倍。我们现在仍在升级这个试制生产线，并将其运用在研发试制上。它現在仍在为创造出新的价值而奋斗着。

※光刻工艺：是一种使涂有感光物质的物体表面像模板状一样曝光（在感光性的物质上照射强光，使其反射），使其生成被曝光部分和未被曝光部分的模板之 后，浸泡在冲洗液体中，以便去除多余部分的技术。 主要用于半导体设备、印刷电路板、印刷板、液晶显示面板、等离子显示面板等的生产制造。