CMEMS技术：批量CMOS制造工艺生产基于EMS的频率控制器件

在过去的五年里，微机电系统（MEMS）解决方案已经稳步进入由石英晶体解决方案垄断上百年的频率控制和定时产品市场。MEMS技术最初源于对更小外形尺寸的追求，目前已呈现出显著的其他优势，包括交付时间、供应稳定性、产品可靠性、器件尺寸和性价比等，这些优势使基于MEMS的振荡器占有部分基于石英的频率控制市场。

依赖传统技术，基于石英的频率控制设计有很多限制，例如需要更高专业化和复杂生产流程，基于陶瓷的特殊包装（如图1所示），需要密闭可靠的腔体以及片外匹配电容，对环境因素敏感，尤其是热力、冲击和振动，可能导致现场故障。

• 第一页：生产基于EMS的频率控制器件（一）；
• 第二页：生产基于EMS的频率控制器件（二）；
• 第三页：生产基于EMS的频率控制器件（三）；
• 第四页：生产基于EMS的频率控制器件（四）；
• 第五页：生产基于EMS的频率控制器件（五）；
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