欧姆龙展出两款MEMS传感器用于医疗器械

产品特性：

• 配备多个非接触温度传感器
• 感度高、测量温度范围广

应用范围：

• 医疗器械

欧姆龙近日展出了两款MEMS传感器。一款是MEMS流量传感器，已经投入量产。该传感器在医疗器械中，用于浓缩氧装置。另一款是正在开发的MEMS温度传感器。

此次的传感器由以下部件组成：（1）将远红外线聚光至传感器芯片上的硅透镜；（2）配备多个非接触温度传感器——热电堆元件的MEMS元件；（3）将传感器的输出换算为温度的MCU。传感器包括排列8个热电堆元件的产品以及将该元件以4×4排列的产品。

通过安装多个热电堆元件，可利用非接触方式同时测量多个区域的温度。虽然还取决于MCU配备的软件，不过基本能测量5～6m远处的温度。与焦电传感器不同，还可测量静止状态的测量对象。因此，可以一次性检查多人病房中的患者是否全在病房。

测量温度范围为0～50℃。噪声等效温度差（NETD）为0.2℃。视角为8度/元件。与该公司以前开发的MEMS温度传感器相比，感度提高了50％。利用MCU换算的温度可经由I2C接口输出到外部。