压力传感器工作原理你知道多少?
导读:我们知道敏感元件是能够灵敏地感受被测变量并作出响应的元件。压力传感器就是其中一种,但是传感器不同于一般的敏感元件它的输出响应还必须是易于传送的物理量,本文介绍压力传感器工作原理。
传感器不但应该对被测量敏感,而且具有把它对被测量的响应传送出去的功能。也就是说,传感器不只是一般的敏感元件,它的输出响应还必须是易于传送的物理量。例如:上诉的弹性膜盒的输出响应是形变,是微小的几何量,不便于向远方传送。如果把膜盒中心的位移转变为电容极板的间隙变化,就成为输出响应是电容量的压力传感器。
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由于电信号最便于传送,所以绝大多数传感器的输出是电量的形式,如电压、电流、电阻、电感、电容、频率等。
变送器是从传感器发展而来的,凡能输出标准信号的传感器就称为变送器。(标准信号是物理量的形式和数值范围都符合国际标准的信号。例如直流4~20mA)有了统一的信号形式和数值范围,就便于把各种变送器和其他仪表组成检测系统或调节系统。
输出为非标准信号的传感器,必须和特定的仪表或装置配套,才能实现检测或调节功能。为了加强通用性和灵活性,某些传感器的输出可以靠转换器把非标准信号转换成标准信号,使之与带有标准信号的输入电路或接口的仪表配套。不同的标准信号也可借助于转换器互相转换。例如利用气/电转换器,能把20~100 kPa的空气压力转换成0~10mA的直流电流。
位式作用和连续作用:
位式作用,也称为开关作用,即传感器在输入变量整个变化范围内其输出相应只有两种状态,例如空气状态的“高”和“低”。位式作用的传感器多用于被测变量的超限报警、连锁保护、顺序控制。例如我们的压力开关。
需要连续检测或调节某些变量时,就必须用连续作用的传感器或变送器。
长野的变送器中所使用的传感器SS—蒸发型半导体应变片的特点:
(1)相对于粘贴式和扩散式,蒸发式为新技术。
(2)其可测压力范围 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有很好耐用性和稳定性。
半导体应变片的制作方法:粘贴方式、蒸发方式、扩散方式。
长野的变送器,如KM31、KM10 等,其半导体应变片部分、感应元件(不锈钢隔膜)以及压力接口部分通过焊接连接成一体,具有很高的稳定性和可靠性,抗震性和抗冲击性良好。
蒸发式半导体应变片的具体制作方式如下:
(1)在不锈钢隔膜上使用CVD等离子沉淀一层SiO2绝缘膜
(2)在SiO2绝缘膜上再沉淀一层多晶硅。
(3)在多晶硅上使用激光蚀刻,应变片成型 。
(4)用电子束照射蒸镀,配上金制电极。
(5)再使用CVD等离子沉淀一层SiNx保护膜。
根据传感器或变送器的安装场所有无易燃易爆气体及危险程度,选择隔爆型及本安型。
(1)隔爆型在内部电路和周围易燃气体之间采取了隔离措施,允许使用在有一定危险性的环境里 。
(2)本安型即本质安全型的简称,依靠特殊设计的电路保证在正常工作及故障(意外短路或断路)状态下都不会引起燃爆事故,可用在十分易燃易爆的场所。 关键字:传感器  本文链接:http://www.cntronics.com/public/art/artinfo/id/80018304