常用电阻测试技术及应用
中心议题：
- 电阻测试基本原理
- 电阻测试的常用技术
解决方案：
- 开尔文连接测试技术
- 电阻隔离测试技术
- 分离开尔文连接测试电阻
- 极小值电阻的测量技术
1 引 言
在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关，为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产精度，需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元，有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同，得到的测量精度也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1Ω左右，FET开关打开时的电阻为十几欧，引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。
2 电阻测试基本原理
在电阻测试中我们常采用恒流测压方法、惠斯通电桥（单臂电桥）和双臂电桥方法。
2.1 恒流测压方法
图１中， r是引线电阻与接触电阻之和；I是程控恒流电流源； V是具有极高输入阻抗的电压表，它对恒流电流源不产生分流作用。施加已知的恒定电流I，流过被测电阻R t，然后测量出电阻两端的电压V，当R t>>r时，根据公式Rt＝V/ I 就可算出电阻值。
2.2 惠斯通电桥方法
图2中，V1，V 2是程控恒电压源；Rstd是标准电阻； Rt是被测电阻；I是电流表。当电桥平衡即流过电流表I的电流为零时，有V1 /V2=Rstd/R t，由此可计算出Rt＝R std×V2/V1 。
