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获台湾媒体点赞！中国MEMS传感器产业高歌猛进！

近日，台湾著名科技媒体Digitimes英文网发表了关于中国MEMS产业的系列文章，表达了其对中国MEMS产业快速发展的看法和赞许，并对歌尔微电子、敏芯股份、美新半导体、深迪半导体、纳芯微电子、飞恩微电子、明皜传感、西人马等多家中国MEMS代表性企业做了分析、介绍。
Digitimes创立于1998年，其出版的《电子时报》是台湾创办的第一家产业报纸。据称，由于『电子时报』仍是台湾电子业供应链专属媒体，包括施振荣、郭台铭、蔡明介、许胜雄等多位业界领袖，都表示每日阅读电子时报是取得产业信息最快捷的管道。
我们来看看Digitimes怎么看待中国大陆的MEMS产业发展情况吧。
2020 年初爆发的 COVID-19 疫情导致热成像和红外 (IR) 温度测量设备需求激增，许多红外热传感器产品出现。
同时，新冠疫情导致居家隔离和远程工作需求激增，促进了 5G网络的部署、非接触式语音对话和数据中心的发展。这加速了射频滤波器、MEMS 振荡器和 MEMS 麦克风的持续增长，使 MEMS 传感器成为当今最热门的领域之一。

中国MEMS制造商正在努力突破
作为全球最大的电子和工业生产基地，中国消耗了全球近50%的MEMS元件。
根据赛迪顾问的数据，到2021年，中国MEMS传感器的平均复合年增长率为15%，高于全球9.6%的水平。然而，由于我国MEMS传感器研究起步较晚，自动化程度低，产业发展远远落后于市场需求。
但是，自2006年中国开始重点发展MEMS传感器产业以来，政府出台了多项发展政策来支持和规范该产业。这些政策涵盖了MEMS传感器发展的技术路径、MEMS传感器的发展目标以及MEMS传感器应用的推广。
中国企业利用这些政策，开始追赶行业。近年来，国内涌现出几家优秀的MEMS传感器企业，成为半导体市场不可忽视的生力军。 

歌尔微电子：中国最大的MEMS公司

歌尔微电子（Goermicro）是歌尔股份的分拆公司，起源于歌尔股份在2004年进入微电子领域，成立的MEMS技术研发中心，该中心于2005年申请了第一个MEMS技术专利。
2009年，该中心与英飞凌科技合作量产MEMS声学传感器。同年，苹果智能手机为大型商业应用开启了MEMS声学传感器的新纪元，为歌尔提供了绝佳的发展机遇。歌尔的MEMS声学传感器自2011年进入苹果供应链以来，在全球MEMS声学传感器的排名中不断上升。歌尔微电子于2017年正式成立。
此后，歌尔微电子一直位居 Yole 的顶级 MEMS 制造商之列，而且只有这家中国公司能做到这一点。从营收来看，歌尔微电子已从2019年的第9名和2018年的第11名上升到2020年的第6名。在MEMS麦克风方面，歌尔声学在2020年首次超越行业龙头楼氏电子（Knowles）。

▲歌尔股份/歌尔微市场占有率排名（来自歌尔微招股书）


2021年12月，歌尔正式分拆歌尔微，并计划在深交所创业板上市。当时，业内分析人士认为，歌尔可以让歌尔微独立，专注于MEMS半导体的研发。然而，由于 COVID-19 大流行的影响，2022 年 3 月，歌尔微的创业板IPO 暂停。（小编注：歌尔微电子现已恢复上市审核。）
尽管被暂停，但业界对歌尔微的上市仍持乐观态度。歌尔表示，预计此次暂停审核不会对歌尔微的整体 IPO 流程产生重大影响。

敏芯股份：中国MEMS本土化产业链拓荒者

歌尔微电子取得突破的背后，是中国智能手机和智能音箱市场的快速增长。真无线立体声 (TWS) 耳机的流行，尤其是苹果 AirPods 2 对语音唤醒和 AirPods Pro 主动降噪的巨大需求，帮助推动了 MEMS 麦克风市场的增长。近年来，市场追随者持续增长，而楼氏电子等主要参与者的市场份额则持续下降。中国制造商歌尔、瑞声科技和敏芯股份，以及台湾的鈺太科技（ZillTek Technology）和 美律实业（Merry），都是全球 MEMS 麦克风市场的主要参与者。
这些中国厂商不仅进入了苹果、华为等主流智能手机品牌的供应链，还拥有全球一半的市场份额。
敏芯股份作为国内首家在A股发行的MEMS公司，备受市场关注。敏芯股份成立于2007年，自成立以来专注于MEMS麦克风芯片的研发，是国内最早研究MEMS传感器的公司之一。目前，其主要产品线包括MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器。
敏芯股份在MEMS传感器设计、晶圆制造、封装测试方面拥有独立的研发能力和核心技术。敏芯股份还可以独立设计ASIC芯片，为MEMS传感器芯片提供信号转换、处理和驱动功能，实现整个MEMS传感器制造过程的国产化。
事实上，敏芯股份是国内为数不多的，具有各类MEMS传感器芯片自主设计和量产能力的企业之一。
敏芯股份副总经理张辰良（Carl Zhang）表示，国内的MEMS传感器整体工艺随着时间的推移逐渐成熟，前几年很少有其他传感器厂商参与。
如今，敏芯股份涵盖了从设计到制造再到封装的六大产品生态系统，具有 MEMS 传感器的全产业链技术。
关于晶圆代工厂，敏芯股份与华润微电子 (CR Micro) 和中芯国际 (SMIC) 密切合作。关于芯片封装，敏芯股份与华天科技（HT-Tech）合作。
此外，敏芯股份拥有四家子公司。全资子公司德斯倍（DSBEL Electronics ）专注于MEMS 传感器的封装和测试 。全资子公司芯仪微电子（Xinyi Microelectronics）主要从事ASIC芯片的研发和设计。全资子公司昆山灵科（Link Sensing），其主要产品是传感器模块。另一家控股公司，则专注于为智能物联网解决方案构建智能传感器。
“MEMS传感器不仅依赖于先进的设计，还依赖于制造。通过与晶圆厂合作，投资建设自己的封装生产线，敏芯股份逐渐开发出具有差异化的产品，达到业内的先进水平，并冲击高端市场。”敏芯股份副总经理张辰良说。他补充道，MEMS 传感器是一种非常独特的产品，需要非常特殊的工艺，并且该行业正在向IDM垂直整合发展。
现阶段，公司针对MEMS麦克风的高端市场是品牌智能手机和智能音箱供应链。
“敏芯股份已经进入了几个头部品牌的供应链，但要做到放量还需要一些时间，”敏芯股份副总经理张辰良说，“我们已经跨越了品牌客户的门槛，我们的下一个重点是加快各方之间的合作。”
在其MEMS声学传感器中，除了MEMS麦克风外，敏芯股份还有骨传导传感器。“敏芯股份是中国最早引进骨传导传感器技术的公司之一，这是一个增量市场，主要专注于耳机和 AR/VR 应用。未来发展和扩大应用场景，需要全产业链的协同配合。“

中国MEMS厂商关注物联网（IoT）
许多中国 MEMS 传感器公司，如美新半导体和深迪半导体，都非常关注物联网 (IoT)。
美新半导体：全球第一家上市的MEMS公司

美新半导体创始人赵阳曾在美国模拟器件龙头Analog Devices (ADI，亚德诺)的MEMS部门工作。1999年，赵阳说服ADI投入技术和资金成立了美新。
继ADI投资后，美新在美国筹资2500万美元成立美新（无锡）。2007年，美新成为全球第一家在纳斯达克上市的MEMS公司。
2018年，美新华灿光电收购。然而，华灿光电第二年卖掉了美新。2020年，美新拆分为独立公司。
美新半导体在无锡建设了8英寸MEMS磁、惯性传感器封测产线。根据绍兴滨海新区管委会2021年7月的公告，美新半导体将在绍兴建设MEMS磁传感器生产线及加速度传感器工艺开发实验线，该产线预计年产6亿颗MEMS芯片。
随着单一芯片电容式传感器技术的成功部署，美新已成为中国领先的电容式加速度计公司之一，地磁传感器产品出货量位居全球前两位。
2021年，美新进军真无线立体声（TWS）蓝牙耳机和可穿戴市场。成功推出并量产了下一代超低功耗地磁传感器和霍尔传感器、AMR 地磁产品、电容式加速度计和热加速度计等产品，在智能手机和物联网市场中发挥着至关重要的作用。


深迪半导体：获得华为哈勃领投1.2亿元融资

在这波物联网浪潮下，深迪半导体也是其中有力的竞争者之一。
深迪半导体（Senodia）成立于2008年，由留学回国的知名技术专家创立。它是中国最早设计和制造商用MEMS芯片的公司之一。深迪半导体还获得了美国风险投资公司 Draper Fisher Jurvetson (DFJ) 和中国电子集团 (CEC) 的天使投资。
2015年，深迪半导体发布国内首款集成6轴IMU传感器，已量产，深受广大客户好评。它可用于手机、平板电脑、TWS耳机、游戏控制器和电动牙刷等主流消费电子产品中。2019年，深迪半导体成功研发并量产首款MEMS陀螺仪芯片，打破了多家欧美公司的垄断。
据官网介绍，深迪半导体已开发出具有完全自主知识产权的先进MEMS工艺和集成技术。他们专注于为消费电子和汽车电子市场设计和制造低成本、高性价比、低功耗和小型商用 MEMS 陀螺仪芯片。
此外，深迪半导体还建立了中国首个大型MEMS陀螺仪校准测试基地，以满足快速增长的新兴消费电子市场的需求。
2021年8月，深迪半导体完成了由华为哈勃科技领投的1.2亿元E轮融资。据业内人士透露，哈勃的竞标重点是涵盖半导体的自主研发技术，并与华为的核心产品密切相关。



中国MEMS瞄准汽车领域
智能手机和 5G 应用，以及其他下游终端市场的强劲需求，促使 MEMS 传感器公司快速增长。但是今天，消费电子产品已经达到了增长瓶颈。随着市场走弱，业界开始寻找MEMS传感器的另一个新市场——汽车电子。
事实上，汽车电子是MEMS产品最早的应用领域之一，主要是压力和惯性传感器。随着智能汽车的发展，汽车安全要求和标准不断提高，扩大了汽车MEMS传感器的应用范围。
例如，通过在自动变速器中加入MEMS传感器，可以动态测量车辆上下坡时的角度，实时调整传动比，防止人为判断和操作失误。主动控制系统中的 MEMS 传感器测量转弯时的角速度，检测方向盘是否完全转动，并自动为内外轮胎添加适当的刹车，使汽车保持在车道上。在车载空气净化系统中，MEMS 传感器可以实时检测空气质量并进行智能调节，以保持空气新鲜和清洁。
汽车领域MEMS传感器的广阔市场，促使中国MEMS传感器制造商将目光投向了这一市场。


纳芯微电子：中国半导体股市史上最贵股票

纳芯微电子于2013年5月成立于苏州工业园区，进军传感器信号调理ASIC芯片市场。在不到 10 年的时间里，它已成为汽车传感器领域的领导者。
纳芯微电子最早生产的传感器信号调理芯片是客户定制的。因此，在2014年能够快速量产、交付并实现盈利。
公司稳定后，创始人王升杨和他的团队开始向数字隔离器、压力传感器等工业控制和汽车产品扩展。2017年，纳芯微电子实现了汽车级芯片的首次量产。如今，他们的产品已成为新能源汽车（NEV）和工控自动化的关键芯片，也成功进入多个行业的Tier 1客户供应链，实现规模化量产。

根据纳芯微电子的展望，其汽车级芯片已被比亚迪、东风汽车、上汽通用五菱汽车、长城汽车、上汽大通汽车、一汽集团和宁德时代（CATL）使用，同时，还进入了上汽大众汽车、联合汽车电子公司（UAES）和森萨塔科技的供应链。

纳芯微电子 的业务目前主要集中在三个类别。2020年营业收入的53.78%来自集成传感器芯片，44.33%来自隔离和接口芯片，0.39%来自驱动和采样芯片，定制服务占比1.49%。
2022年4月22日，纳芯微电子在上海科创板挂牌上市。（小编注：纳芯微上市情况可参看《稳了！中国传感器史上最贵IPO诞生！产业春天到来!》内容）


飞恩微电子：已实现数千万只汽车前装配套
飞恩微电子（FineMEMS）是一家成立于2011年的高科技公司，专注于为汽车、物联网、智能家居和工控行业提供MEMS传感器和系统。基于工艺应力模型封装技术和高效批量标定测试算法，公司建立了数条全球领先的单件流全自动化生产线，产品已覆盖整车所有压力传感器应用，已实现数千万只汽车前装配套。
2021年6月，飞恩微电子完成过亿元战略融资。飞恩微电子总经理王小平表示，战略资金为飞恩微电子在智能家居及新能源汽车领域的布局打下了坚实的基础。
此前，飞恩微电子已获得朗盛投资集团、F&G Ventures、CTC Capital、SBCVC、长江证券等投资方多轮融资。

明皜传感：获消费电子巨头小米的投资

明皜传感成立于2011年，是苏州固锝的子公司，主要从事MEMS传感器芯片和组件的工艺开发和设计。其主要产品包括加速度计、陀螺仪（开发中）、压力传感器、磁传感器和MEMS麦克风。
明皜传感的传感器产品主要用于家用电器，但随着智能汽车的趋势，它们也在向汽车市场扩展。苏州固锝此前指出，明皜传感加速度计广泛应用于汽车电子、可穿戴设备、医疗设备、网络通信等领域。
2021年8月，明皜传感获得小米投资，注册资本由6444万元增至7085万元，增幅9.96%。业内人士表示，小米的加入增强了明皜传感与下游客户的协同效应，增加了客户资源，扩大了小米汽车供应链的范围。

中国的红外传感器在新冠疫情下耀眼
COVID-19 大流行使非接触式快速测温设备（例如红外测温枪和红外热像仪）成为预防和控制新冠疫情的必需品。中国红外传感器制造商正以此为契机，满足庞大的国内防疫需求，并销往海外，西人马就是这样一家公司。
西人马 UTC
西人马联合测控（泉州）科技有限公司（西人马UTC）成立于2017年，是集成设备制造商（IDM）西人马的子公司。西人马 UTC 是西人马的 MEMS 高端传感器和芯片制造基地。拥有6000多平方米的超净车间和先进的微纳实验室，拥有配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。
2020年，西人马提议将红外温度模块集成到智能手机中，以满足新冠疫情期间对紧凑、便携、准确、快速读取、低成本的个人温度计的需求。
西人马以其先进的技术而备受关注。2019年11月，西人马获得数千万A轮融资。2020年第一季度，西人马获得1亿元A+轮融资。2021年3月获得B轮融资。
西人马已成为中国领先的MEMS IDM芯片公司，批量生产IR和加速度计芯片和传感器。“我们还继续销售红外热成像芯片、MEMS压力芯片、MEMS芯片压力调节芯片和加速度计芯片。未来，我们计划发布硅麦克风芯片和消费级陀螺仪芯片。”

结   语
目前，MEMS传感器市场需求旺盛，市场规模不断扩大。中国支持市场的政策的积极作用是显而易见的。近年来，资金不断流入MEMS产业，中国MEMS企业正在带动国产MEMS产品的快速发展。
中国MEMS传感器企业仍处于成长初期，但正在努力追赶行业巨头。此外，随着物联网、智能汽车和5G技术的发展，中国MEMS传感器产业将持续增长。
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