天芯微半导体首台先进制程硅基外延设备在无锡高新区首发

“无锡高新区在线”消息 8月8日上午，天芯微半导体首台先进制程硅基外延设备首发仪式在无锡高新区举行。

天芯微此次发布的Epi 300 Compass AP硅基外延减压设备是半导体前道工艺中的关键设备，广泛应用于功率器件、28nm及以下先进制程的逻辑、存储器件的生产制造。Epi 300 Compass AP的各项性能均达到了国际先进水平，部分核心性能已经超过国际同类产品，并得到了客户的肯定。

江苏天芯微半导体设备有限公司是先导集团旗下的一家集成电路高端装备制造商，公司核心团队来自全球领先的半导体设备公司，拥有25年的先进半导体装备研发、制造经验。公司以硅基外延技术为核心，致力于半导体前道关键工艺设备的研发与制造，为集成电路行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。