中微公司：CCP已进入5nm以下晶圆生产线 设备或两年内实现应用全覆盖

记者了解获悉，中微公司CCP已进入5nm以下晶圆生产线， Primo nanova ICP单台机订单年增长超过100%。上半年刻蚀设备收入为12.99亿元，同期增长约51.48%，毛利率达到46.05%。