MEMS传感器在工业、汽车中应用加速

MEMS传感器在工业领域应用非常广泛，工业生产各个环节都需要MEMS传感器进行监测，并把数据反馈给控制中心，以便对出现异常节点进行及时干预，保证工业生产正常进行。可以说，MEMS传感器让工业自动化智能设备有更强的感知能力，在生产制造过程中使用各种传感器监视和控制各个参数，使设备工作处在正常状态或最佳状态。

近日，ADI举办MEMS新品发布会，推出多款应用于不同领域的低功耗MEMS传感器。根据ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉的介绍，MEMS传感器可测量冲击、倾角、转动、加速度、震动等信号，随着工业制造领域的智能化程度越来越高，MEMS传感器在智能感知中发挥的作用也越来越大。

此次发布的ADXL367是一款超低功耗的3轴MEMS加速度计，可用于广泛的工业和医疗健康等领域。与上一代 ADXL362 相比，ADXL367功耗改善了两倍，同时噪声性能提高了 30%以上。ADXL367 在 100 Hz 输出数据速率时功耗仅为 0.88 μA，在运动触发的唤醒模式下功耗为180 nA，可有效推动工业制造的智能化发展。

ADI还发布了面向胎压监测、电动车电池监测、碰撞检测的车规级低功耗大量程加速度计ADXL314。ADXL314数字输出数据为 16 位二进制补码数据格式，可通过串行外设接口(SPI)、3 线或 4 线式或者 I 2 C 数字接口访问。集成式存储器管理系统采用 32 级先进先出(FIFO)缓冲器，可存储数据，从而尽可能减少主机处理器负荷，并降低整体系统功耗。在 100 Hz 输出数据速率(ODR)和 V S = 2.5 V 时的功耗通常为 65 μA。

ADXL359是一款以客户为导向、高性价比的加速度计。具有可选测量范围的低噪声密度、0 g 低失调漂移、低功耗等特性， 在温度范围内提供低噪声、小失调漂移和长期稳定性，可实现校准工作量极小的精密应用。低失调、低噪声和低功耗可在机载惯性测量单元(IMU)等高振动环境下实现精确的倾斜测量。较高频率下的低噪声非常适合无线状态监控应用。

根据Yole Development 的数据，2020 年MEMS 传感器市场达到308亿美元，前景极其广阔。