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美国Setra西特217超高纯压力变送器

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Setra 217 型压力变送器专为模块式 “Block” 气体棒和面板设计,非常适合恶劣环境(例如冷气流导致的温度瞬变下的压力测量应用于·模块式“Block”气体棒和面板·高纯度气体输送系统半导体过程工具。

  特性·316 L VIM/VAR 不锈钢·表面抛光度 7 Ra·1×10-9 级别的氨渗漏实验·出色的稳定性,避免停机·可选带 C 型或 W 型密封的压力端口·抗电磁干扰 / 射频干扰,可防止误停机易于吹扫·符合 CE 和 RoHS 标

  217 型压力变送器可选带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力端口,带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至 5 Ra(大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。每个传感器都采用质谱仪进行了 1 x 10-9 级别的氦渗漏试验。

  217 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三种输出类型,并提供多种标准电气接口。顶部外侧带有零点和量程调整装置,进一步体现了独特设计,适合所有朝下安装的 UHP(超高纯)压力测量应用。 217 型同时也是一款获砖利的可变电容传感器,采用 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板,可变电容在传感器本体与电极板之间形成。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,并基于砖利的电荷平衡原理,通过Setra 独特的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。

  Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。





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