晶盛机电首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉
近日,经过晶体实验室研发团队半年多的技术攻关,晶盛机电首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉,这标志着晶盛机电第三代半导体材料SiC研发自此迈入8英寸时代。
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此次研发成功的8英寸SiC晶体,晶坯厚度25mm,直径214mm,是晶盛在大尺寸SiC晶体研发上取得的重大突破。
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这不但成功解决了8英寸SiC晶体生长过程中温场不均、晶体开裂、气相原料分布等难点问题,同时还破解了SiC器件成本中衬底占比过高的难题,为大尺寸SiC衬底广泛应用打下基础。
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目前,6英寸SiC仍是产业内的主流,但各大厂商纷纷加快8英寸量产步伐,8英寸碳化硅时代的钟声或许即将敲响。
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(来源:化合物半导体/JSSIA整理)