PI应用 I 晶圆和基板检验与计量

　　经济高效的缺陷扫描和定位

　　由于特征尺寸的减小和设计复杂度的增加，晶圆检验(即在起始晶圆或基板或者成品器件中寻找缺陷的科学)的要求越来越苛刻、挑战性不断增加且成本日益高昂。在整个制造过程中分析每道工步的缺陷至关重要，因为随着接近成品器件，检验流程变得更具挑战性且成本更加高昂。借助缺陷检验分步扫描，半导体制造商能够通过早期缺陷检测来防止成品率损失，从而降低成本。半导体工艺和检验在很大程度上依赖于精密运动和提供具有严格速度调节的同步多轴动态性能的能力。PI提供多种专为满足工艺和检验应用的高要求而量身定制的精密运动平台。

　　该运动解决方案的主要特点

　　·高处理能力

　　·高度可重复定位

　　·模块化和可扩展设计

　　·轻松集成附加轴

　　·经济高效，交付快捷

　　θZ轴 – 晶圆或基板的精细旋转分度和对准

　　·高精度且可重复的360度旋转，无空回

　　·磁性直接驱动器可实现高速度和加速度

　　·直接驱动、无槽、无刷力矩电机可提供非常低的齿槽转矩并实现平稳的速度和低误差运动?

　　·超精密滚珠轴承由内部开发和制造，因此可缩短交付时间并降低价格。

　　直接驱动力矩电机技术

　　Z轴 – 精密晶圆对准

　　·低外形、结构紧凑的优异机械设计?

　　·直接驱动无铁芯电机技术意味着零齿槽效应并确保平滑的扫描速度或精密的增量步进?

　　·高分辨率编码器可实现运动平台的纳米级定位?

　　·高精度防蠕动交叉滚柱轴承?

　　·断电自锁功能可防止碰撞?

　　·经济实惠，交付快捷

　　直接驱动电机技术

　　电能以机电方式转换为力：借助于“右手定则”，可以确定相对于电流和磁场方向的力方向

　　XY轴 – 精密步进和扫描运动

　　·高动态无铁芯线性电机可在长行程内实现快速精密的轮廓加工?

　　·绝对编码器可避免参考并确保运行期间的安全性?

　　·低外形刚性平台可减少阿贝偏移?

　　·设计可实现高度的灵活性和可扩展性?

　　·优化的集成电缆管理可减少运动阻力并延长使用寿命?

　　·花岗岩底座确保运动系统的较高性能

　　直接驱动线性电机平台?

　　灵活轻松的自动化控制

　　·EtherCAT运动控制和驱动模块提供开放式网络连接

　　·先进算法提供快速步进和稳定、高就位稳定性以及出色的恒定扫描速度

　　·广泛的编程环境并支持高级语言

　　·控制器具有自动聚焦功能，可实现动态聚焦调整

　　·前瞻功能可调整速度以保持精度

　　·轻松编程运动路径，包括G代码

　　·ServoBoost?

　　·G-901运动控制器