电科装备离子注入机跑出交付“加速度”

满载设备的运输车整装待发，又一台离子注入机设备驶向客户现场，这是电科装备今年交付的第三台离子注入机。

过去一年，电科装备累计新签设备数量创下历史新高，同比增长近70%，在不同工艺、不同应用领域多点开花并获得重复订单。为了满足日益增长的订单需求，离子注入机团队拿出开局即冲刺的精气神，早谋划早部署，早行动早落实。

离子注入机是集成电路芯片制造的关键设备，研制难度极大。为全力攻克这一难题，研发团队通过成千上万次模拟实验，夜以继日的在线验证，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，成功实现我国集成电路制造领域全系列离子注入机自主创新发展。

面向未来，中国电科将以党的二十大精神为指引，继续瞄准国家重大战略需求，加快推动离子注入装备产业化发展，为高水平科技自立自强作出新的更大贡献。