70亿12英寸晶圆制造量产线开工，中国MEMS本土产业数十倍增长

12月14日，12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目广州增芯在广州增城正式动工。

据广州日报报道，广州增芯项目的全称是增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目，由广州智能传感器产业集团发起，批复投资70亿元人民币，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工，计划2024上半年通线，2025年年底满产。

MEMS传感器被看作是未来传感器最重要的类型之一。MEMS即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），利用集成电路制造技术和微机械加工技术，把微传感器、微执行器制造在一块芯片上的微型集成系统。随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器将在智慧时代将大有可为。

广州智能传感器产业集团董事长陈晓飞表示，未来10年全球MEMS产业市场将呈数倍增长，我国MEMS本土产业数十倍增长的发展趋势。

目前，增芯项目已与10家MEMS设计骨干企业签订合作协议，共同定制工艺设备、开发特色工艺技术，包括但不限于加速度传感器、惯性传感器、磁传感器、基因测试芯片、微流控芯片、硅基麦克风芯片等。未来，增芯项目产出的传感器芯片可广泛适用于下游产业的超高清显示屏内。

广州增城区委书记赵国生表示，增芯项目对增城打造集成电路产业集群有重大意义，有利于推动广州集成电路全产业链集聚发展，为广东乃至全国传感器企业提供强有力的战略协同，促进关键核心技术攻关。

近年来，广东正大力实施“广东强芯”工程和核心软件攻关工程，打造中国集成电路第三极取得重大进展，而广州无疑成为该目标实现的重要一环。尤其是粤芯12英寸晶圆项目的投产标志着广州可生产在地芯片，填补了广州芯片的生产空白。如今，粤芯三期项目瞄准工业及车规级产品正加速建设。

据介绍，在四季度开工的项目中，总投资10亿元以上的产业项目62个，特别是增芯、广石化升级改造、因湃电池、粤芯三期、融捷能源锂离子电池等一批50亿级重大产业项目的开工建设，将为广州市未来一段时间的发展奠定坚实基础。