赛微电子：控股子公司MEMS生物芯片通过验证并启动试产

大半导体产业网消息，据赛微电子1月10日公告，赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司（简称“赛莱克斯北京”）代工制造的某款MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订单，启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。

据了解，MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等，将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中，同时可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。赛莱克斯北京通过自身对材料与工艺的深刻理解，自主创新MEMS制造工艺的应用，成功地在产线上实现硅衬底与玻璃衬底的兼容，并在此基础上完成加工制造过程。

公告内容称，近年来，赛莱克斯北京持续加大研发投入，自主积累基础工艺，积极探索各类MEMS器件的生产诀窍，努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户，尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务，积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力，加速国产替代。