上海集成电路材料研究院合成实验室正式启用

2月6日上午，上海集成电路材料研究院（“集材院”）在上海化学工业区投资建设的集成电路材料合成实验室正式启用，这既是上海电子化学品专区加快打造自主创新平台的重要组成部分，也是上海国际化工新材料创新中心重点引入的研发试验机构之一，成为上海化工区加速创新驱动、促进产业链与创新链融合发展的又一重要里程碑。

2020年以来，上海化工区主动对接国家战略和上海集成电路等先导产业发展需求，全力推进上海电子化学品专区建设，并以培育自主创新平台为纽带，助力促进科创建设协同发展，取得显著成效。

管委会党组书记、主任马静，管委会副主任侯金花，发展公司总经理金健，中科院微系统所党委书记俞跃辉，中科院微系统所副所长、集材院董事长兼总经理俞文杰等出席揭幕仪式，并参观现场和座谈交流。

面向集成电路材料企业在性能测试与研发验证等方面的共性诉求，集材院于2022年1月在电子化学品专区注册成立全资子公司上海集材微电子材料技术有限公司，落户上海国际化工新材料创新中心。注册资本3000万元，一期项目建设总投入1.5亿元，总建筑面积近2100㎡。该平台建成合成实验室、放大实验室、纯化及罐装实验室、分析实验室等专业实验室，可开发化学合成技术、合成结构精准可控的集成电路材料，探索放大工艺、制备公斤级集成电路材料，并开发原料纯化技术、制备ppb、ppt级金杂含量的集成电路材料。分析实验室可提供全面、系统性的集成电路材料测试表征分析，并将逐步建立起集成电路材料分析测试及操作规范的行业标准。同时，分析实验室服务能力向专区内企业共享开放。

（集材院实验室部分公共服务能力）