上海新阳：拟5.8亿元投建集成电路关键工艺材料项目

大半导体产业网消息，上海新阳2月14日发布公告称，公司拟与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》，变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区，并启动位于上海化学工业区的项目建设。

公告显示，该项目主要用于开发集成电路关键工艺材料，经初步测算，总投资金额约为5.8亿元人民币。项目预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶；年产10000吨光刻胶稀释剂；年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品；年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。