MEMSound（大响科技）推出全球首款压电MEMS水听器

水听器即水下麦克风，是把水下声信号转换为电信号的换能器。目前商用的水听器以基于压电陶瓷与光纤的解决方案为主。由于受制于加工技术，制造成本较高，一致性较差；此外，光纤水听器虽然精度较高，但系统包括激光源，干涉腔，光电探头等多个部分，复杂昂贵，功耗高，适用于小规模/高精度的应用。

MEMSound依托顶尖的8英寸压电氮化铝（AlN）平台，经过5年的持续投入，开发了全球首个压电MEMS声压梯度式水听器。下图分别为高晶向一致性氮化铝薄膜，加工的水听器芯片和封装的MEMS水听器工程样品。

氮化铝薄膜

加工的水听器芯片

封装的MEMS水听器工程样品

借助半导体批加工技术，MEMSound基于氮化铝制造平台的MEMS水听器的成本相比压电陶瓷和光纤水听器显著降低，同时成品率与一致性大幅提高，这些都使MEMS水听器拥有极高的性价比，对于海洋勘探，航道监测，管网监测，水下导航等大规模民用领域具有重要意义。此外，借助半导体制造技术的优势，MEMS水听器在尺寸与重量方面也更具竞争力。

MEMSound的压电MEMS水听器采用氮化铝作为敏感材料，与基于PZT的传统压电陶瓷水听器相比，虽然氮化铝的压电系数较小，但介电常数更小；而被动式压电器件的关键评价参数（FOM）是压电系数与介电常数的比值。MEMSound公司开发的压电氮化铝MEMS水听器的FOM比同类PZT产品大4倍，意味着相同条件下MEMS水听器的灵敏度高12dB，这将使终端客户可以探测更远距离，更微弱声信号。

对于传统压电陶瓷与光纤水听器，一个主要问题是他们不仅对声音敏感，同时也对振动，温度等信号敏感而造成信号干扰，需要复杂的隔离装置来屏蔽。MEMSound的MEMS水听器采用新颖的温度补偿技术与芯片级振动信号隔离设计，可以成功的屏蔽干扰信号，比现有产品改进约20dB。

MEMSound的MEMS水听器也具有优异的技术指标，如大带宽（3Hz~600kHz可定制），大动态范围（120dB~140dB）及全动态范围低于0.1%的非线性度，这些都和最优秀的光纤水听器处于相同量级。此外，小于10mW的功耗与66dB的噪声分辨率也极具竞争力。

MEMSound计划于2017年第1季度开始提供MEMS水听器样品，第4季度量产。

关于MEMSound（大响科技）：大响科技是一家专注于基于氮化铝的压电声学MEMS传感器初创公司，主要产品包括MEMS水听器，超声传感器及相关系统等。

如果希望进一步了解或投资MEMSound（大响科技），欢迎发邮件至WangYi@MEMSConsulting.com