集成电路芯片生产工艺检测设备厂商睿励科学仪器再获1.6亿元融资

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7月4日，浦东科创集团投资企业睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称“ 睿励科学仪器”）宣布完成了一轮增资，直接融入现金超过1.6亿元，该轮增资由部分原有股东全部认购。本轮所融资金将主要用于光学膜厚量测设备和缺陷检测设备的产品迭代研发及新产品研发和生产投入。

睿励科学仪器创建于2005年，总部设立在张江，研发和销售团队分布于北京、上海、西安、武汉等地。公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制。公司膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证（累计数以亿计的晶圆跑片数），无论是设备稳定性还是快速响应解决问题的能力都得到了客户认可，在帮助产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本等方面成果显著。近两年推出的12吋膜厚量测设备TFX4000系列和应用于明暗场的12吋高精度光学缺陷检测设备WSD系列在相继交付国内重要客户后，快速通过验证并接连获得客户好评，已取得多台重复销售订单。

睿励科学仪器在设立之初就得到了浦东科创集团的支持。浦东科创不仅多次投资睿励，在睿励发展中，依托自身的产业生态持续的帮助企业引入关键人才、梳理发展战略、获得融资、开拓市场、获得订单，特别是2021年3月，由浦东科创集团牵线，睿励科学仪器引入中微新一轮1亿元战略投资。自此，公司的客户渠道有了保障，产品销量有了提升，管理技能进一步提高，发展进入了快车道。

睿励科学仪器相关负责人表示，在本轮融资完成后，睿励科学仪器将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步丰富光学量测和光学缺陷检测产品系列，在加速光学膜厚量测设备、OCD量测设备、光学缺陷检测设备等产品迭代更新的同时，将逐步开启其他光学类检测设备的开发和应用拓展，力争尽早达到国际厂商同类设备应用能力全覆盖，为早日实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力奋斗。