《广东省电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南》发布

　　【仪表网 仪表标准】为贯彻落实《中共中央 国务院关于深入打好污染防治攻坚战的意见》和《“十四五”节能减排综合工作方案》(国发〔2021〕33号)，聚焦细颗粒(PM2.5)和臭氧(O3)协同控制，加快推进氮氧化物(NOx)和挥发性有机物(VOCs)协同减排，持续改善全省环境空气质量，不断满足人民群众的优美生态环境需要，广东省生态环境厅组织开展了涉VOCs排放和工业炉窑污染治理专题专项研究，编制了《广东省电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南》，现发布实施。
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　　为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》、《广东省大 气污染防治条例》等法律、法规，落实《国务院办公厅关于印发控制污染物排放许可制实施方案 的通知》(国办发〔2016〕81 号)要求，防治环境污染，改善环境质量，指导和规范挥发性有 机物综合整治工作，制定本指南。
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　　本指南参考DB 4427 大气污染物排放限值；GB 37822 挥发性有机物无组织排放控制标准；GB 33372 胶粘剂挥发性有机化合物限量；GB 38508 清洗剂挥发性有机化合物含量限值；GB 38507 油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值；HJ 1031 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业；HJ 1093 蓄热燃烧法工业有机废气治理工程技术规范；HJ 2026 吸附法工业有机废气治理工程技术规范；HJ 2027 催化燃烧法工业有机废气治理工程技术规范；GB/T 38597 低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求；GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法等文件编制而成。
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　　本指南规定了电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南。
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　　本指南适用于电子元器件制造企业(包括电子器件制造和电子元件及电子专用材料制造)挥 发性有机物(VOCs)排放控制相关技术要求，其中电子器件制造包括电子真空器件制造(3971)、 半导体分立器件制造(3972)、集成电路制造(3973)、显示器件制造(3974)、半导体照明 器件制造(3975)、光电子器件制造(3976)以及其他电子器件制造(3979)；电子元件及电 子专用材料制造(3980)、电阻电容电感元件制造(3981)、电子电路制造(3982)、敏感元 件及传感器制造(3983)、电声器件及零件制造(3984)、电子专用材料制造(3985)以及其 他电子元件制造(3989)等。
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　　污染预防技术：
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　　(1)使用符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020)、《清洗剂挥发性有 机化合物含量限值》(GB38508-2020)、《油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值》 (GB38507-2020)要求的胶粘剂、清洗剂、油墨。 (2)采用水性、高固、能量固化油墨代替溶剂型油墨；鼓励使用无溶剂涂料、辐射固化涂 料；电子产品制造推广使用粉末、水性、辐射固化等涂料。 (3)电子产品制造推广使用静电喷涂等技术。 (4)采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂。
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　　过程控制技术：
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　　(1)清洗剂、清洁剂、油墨、胶粘剂、固化剂、溶剂、开油水、洗网水等 VOCs 物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。
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　　(2)盛装 VOCs 物料的容器应存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用 场地。盛装 VOCs 物料的容器在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。
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　　(3)液体 VOCs 物料应采用管道密闭输送。采用非管道输送方式转移液态 VOCs 物料时， 应采用密闭容器或罐车。
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　　(4)包封、灌封、线路印刷、防焊印刷、文字印刷、丝印、UV 固化、烤版、洗网、晾干、 调油、清洗等使用 VOCs 质量占比大于等于 10%物料的过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作， 废气应排至 VOCs 废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至 VOCs 废气收集处理系统。
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　　(5)重点地区的实验室，若涉及使用含挥发性有机物的化学品进行实验，应使用通风橱(柜) 或者进行局部气体收集，废气应排至挥发性有机物废气收集处理系统。
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　　(6)废气收集。 ①采用外部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速不低于 0.3m/s。 ②通风生产设备、操作工位、车间厂房等应在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下， 根据行业作业规程与标准、工业建筑及洁净厂房通风设计规范等的要求，采用合理的通风量。废 气收集系统的输送管道应密闭。 ③废气收集系统应在负压下运行，若处于正压状态，应对管道组件的密封点进行泄漏检测， 泄漏检测值不应超过 500μmol/mol，亦不应有感官可察觉泄漏。 ④无尘等级要求车间需设置成正压的，推荐采用内层正压、外层微负压的双层整体密闭收集 空间。⑤废气收集系统应与生产工艺设备同步运行。废气收集系统发生故障或检修时，对应的生产 工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止 运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他代替措施。
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　　(7)载有 VOCs 物料的设备及其管道在开停工(车)、检维修和清洗时，应在退料阶段将 残存物料退净，并用密闭容器盛装，退料过程废气应排至 VOCs 废气收集处理系统；清洗及吹扫 过程排气应排至 VOCs 废气收集处理系统。
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　　末端治理：
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　　(1)有机废气分类收集、分质处理，水溶性组分占比较大的有机废气宜采用含水喷淋吸收 的组合技术处理；非水溶组分有机废气宜采用热氧化或其他组合技术进行处理。
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　　(2)若采用活性炭吸附技术，采用颗粒活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于 800mg/g； 采用蜂窝活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于 650mg/g；采用活性炭纤维作为吸附剂时，其 比表面积不低于 1100m2/g(BET 法)。其工作温度和湿度应符合：温度 T<40℃、湿度 RH<60%； 活性炭表面不应有积尘和积水；活性炭吸附箱是否足额装填活性炭(1 吨活性炭通常只能吸附 0.1~0.2 吨 VOCs，根据 VOCs 产生量推算需使用的活性炭，以活性炭购买记录(含发票、合同 等)、危废合同、转移联单和危废间暂存量佐证其活性炭更换量)；箱体内气流走向及碳床铺设 应符合《吸附法工业有机废气治理工程技术规范》(HJ2026- 2013)。在确保活性炭无积尘无 潮湿的情况下，可采用 VOCs 速测仪测处理前后浓度的方法快速判断活性炭是否饱和(处理后浓 度高于处理前浓度，即活性炭已达到饱和状态)。
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　　(3)设置高效的颗粒物(漆渣、粉尘)去除系统，治理设施内无肉眼可见的颗粒物(漆渣、 粉尘)。
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　　(4)排放水平。①车间或生产设施排气筒废气排放浓度不高于相应行业排放标准浓度限值(无行业排放标准 的执行 DB4427-2001 第Ⅱ时段限值)；若环评审批或排污许可证都是核发的《大气污染物排放 限值》(DB4427-2001)第Ⅱ时段排放限值 100%，建议取两者中最严值执行；车间或生产设施 排气中 NMHC 初始排放速率≥3kg/h 时，建设 VOCs 处理设施且处理效率≥80%，采用的原辅材 料符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的除外。 ②根据《广东省生态环境厅关于实施厂区内挥发性有机物无组织排放监控要求的通告》(粤 环发〔2021〕4 号)，企业厂区内无组织排放监控点浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标 准》(GB37822-2019)特别排放限值。