《MEMS VOCS气体传感器技术要求》团体标准征求意见

　　【仪表网 仪表标准】根据《安徽省环境检测行业协会团体标准管理办法(试行)》相关规定，由安徽维纳物联科技有限公司等单位负责起草的《MEMS VOCS气体传感器技术要求》团体标准，现公开征求意见。
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　　MEMS VOC 气体传感器(MEMS VOC Gas Sensor) MEMS VOC气体传感器是基于MEMS工艺在Si基衬底微加热板上涂覆敏感材料制备而成一种气体传感器。可用于检测不同场景下VOC气体含量。其使用的敏感材料在洁净空气下具有较低的电导率，当传感器处于目标气体环境中，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。使用检测电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
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　　本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。本文件由安徽维纳物联科技有限公司提出。本文件由安徽省环境检测行业协会归口。本文件起草单位：安徽维纳物联科技有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽元琛环保科技股份有限公司、安徽康菲尔检测科技有限公司、合肥先进产业研究院。
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　　本标准参考：GB 12358 作业场所环境气体检测报警仪通用技术要求；GB 3836.1 爆炸性环境 第1部分：设备 通用要求；GB 3836.2 爆炸性环境 第2部分：由隔爆外壳“d”保护的设备；GB 3836.4 爆炸性环境 第4部分：由本质安全型“i”保护的设备；GB 5170.14-85 电力电子产品振动测试行业标准；GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件；JB/T 9329 仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件和试验方法；IEC 60079-29-1 爆炸性环境，易燃气体探测器的性能要求；IEC 60529 (EQV GB 4208-2008)外壳防护等级等文件编制而成。
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　　本文件规定了MEMS VOC 气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。 本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件。
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　　环境要求：
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　　1.湿度要求。对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。2.温度要求。对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。3.大气压要求。对试验样品进行不同大气压下试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。
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　　外观要求：
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　　a) 传感器芯片外形、各部分尺寸及加工质量符合图样规定。 b) 封装器件符合图样规定，安装牢固。 c) 封装器件不得有龟裂、损伤、断裂等现象。 d) 传感器通电检查时，显示电压和电流示数应维持恒定范围内数值。
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　　试验的基本条件：
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　　1) 待测 VOC 气体是常见的苯系物、有机氯化物、氟里昂系列、有机酮、胺、醇、醚、酯、 酸和石油烃等广普性 VOC。 2) 环境温度为 20±10℃。3) 环境空气相对湿度为 50%RH±5%RH。 4) 气体传感器性能的常规测试所用气体为乙醇或甲苯，干扰实验所用气体包含但不仅限于 氢气、甲烷、一氧化碳。零点气体为不影响传感器响应值的洁净空气。 5) 气体传感器性能测试在一个静态的系统进行。通过注入的气体或蒸汽的体积来改变待测 气体浓度，通过测试电路反映出的电压变化，进行系统的器件性能测试。
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　　检验规则：
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　　1.产品合格要求。产品须经过公司质量检验部门的生产检验合格和出厂检验合格后，并附有产品质量合格证后方可出 厂。 2.取样。每一个生产的传感器产品均需要进行生产检验，出厂检验应从生产检验合格的产品中进行抽检。3.出厂检验。出厂检测包含稳定性、响应时间(T90)、恢复时间(T10)、响应误差、跌落试验、振荡试验、湿 度试验、温度试验、干扰气体试验、敏感体电阻检验。4.型式检验。型式检验，由质量技术监督部门或检验机构随机抽取并现场抽样封样。以确定所有产品质量是否全 面地达到标准和设计要求的判定。
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　　标识：
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　　每一只传感器均应有清晰、耐久的产品标识，产品标识应包括： c) 制造厂名称或厂标。 d) 名称及型号。 e) 制造编号。 f) 制造日期。 g) 适用气体种类。