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上海交大国家重点实验室104页PPT详解MEMS中的动力学问题研究


本资料来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,是一份硬核技术资料。


主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题,包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容,推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。

《MEMS若干动力学问题研究》(104P无删减,PPT)资料全文可在传感器专家网公众号后台回复关键词【MEMS动力学问题】获取保存、下载链接。

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