111页PPT详尽介绍MEMS微传感器技术（附下载）

微电子的区别；压力、加速度计等各类MEMS传感器的构造、设计原理；MEMS加工工艺等知识全面普及。推荐需要了解MEMS传感器知识的伙伴分享、收藏。

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