溅射膜压力传感器与其它传感器有什么不同？【社群智汇】

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　　【今日话题】是“金属溅射薄膜压力传感器”。与其他压力传感器相比，溅射薄膜压力传感器有什么特点与优势呢？

@传感器专家网-杨军：

　　压力传感器多种多样，昨天我们聊了陶瓷压力传感器，今天我们再一起来看看金属溅射薄膜压力传感器，大家一起聊聊溅射膜压力的特点、优缺点和应用市场，欢迎有相关经验的群友分享自己的经验、看法和观点。

@l***o:

　　什么是溅射膜压力传感器，与其它有什么不同？

@与***爸：

　　溅射薄膜压力传感器，就是在不锈钢(一般用17-4ph）弹性体上溅射镀膜技术生成压敏电阻惠斯通桥。再把这个弹性体焊接在不锈钢外壳内，加上信号处理电路转换成电压或者电流输出。

　　我了解的是，国外的品牌有丹佛斯和GEMS, 国内还没有听说。欢迎了解的补充

　　溅射薄膜压力传感器的优点是承受压力高，可以工作在1600bar,耐压和破裂压力高。相对同样耐压产品，具备更低成本优势。

@传感器专家网-杨军：

　　溅射膜压力传感器，是采用离子束溅射和刻蚀技术，在不锈钢弹性膜片上制作薄膜电阻构成惠斯通电桥，流体压力作用在不锈钢弹性膜片上，使之产生形变，引起电阻值变化，电桥输出与压力成比例的电信号，通过一系列的信号处理和误差修正，转换为标准的电信号输出，从而实现对压力的测量。

　　溅射膜压力传感器制作中的一些关键技术包括：弹性膜片的材料及加工、溅射薄膜制备技术、光刻和激光调阻技术、产品稳定性技术（包括弹性体应力、薄膜内应力、产品装配应力提前加速去除、薄膜晶格及结构缺陷稳定性处理等），这些都是制溅射膜压力传感器大批量低成本生产的瓶颈。

@O***魏：

　　可以这样理解，溅射膜传感器理论门槛并不高，但制造却不易。

　　难点不在于制造传感器本身，而是制造用于制造传感器过程中所需的专用仪器、设备、工具、产线、流程、标准。

　　下蛋不难，难的是先要有下蛋的鸡。

　　这也是很多产品的门槛，不在于产品本身技术有多高端，而在于系统性地解决制造过程中繁琐而且复杂的细节问题，问题解决了，壁垒也就建立起来了。

@传感器专家网-杨军：

　　溅射膜压力传感器主要的优点是受温度的影响较小，温度性能远优于扩散规是压力传感器，例如，温度变化100摄氏度时，其零点温漂仅为千分之五水平，这一特性特别适合对高温高湿的恶劣应用场合。

　　因为制造工艺要求高，目前常见的溅射膜压力传感器应用，较多的出现在航空航天、国防军工，石油化工、工程机械液压传动等环境恶劣的应用场景，市场呈现出造价高、用量小、品质要求高的特点，亟需企业在制造工艺上努力攻关，降低生产制作成本，在尽量少牺牲性能指标的情况下实现对产品的大批量生产。

@刘***:

　　溅射薄膜压力传感器有量也就100左右。

　　只是国内没有好的工艺解决方案降低成本。

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