溅射膜压力传感器与其它传感器有什么不同?【社群智汇】
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【今日话题】是“金属溅射薄膜压力传感器”。与其他压力传感器相比,溅射薄膜压力传感器有什么特点与优势呢?
@传感器专家网-杨军:
压力传感器多种多样,昨天我们聊了陶瓷压力传感器,今天我们再一起来看看金属溅射薄膜压力传感器,大家一起聊聊溅射膜压力的特点、优缺点和应用市场,欢迎有相关经验的群友分享自己的经验、看法和观点。
@l***o:
什么是溅射膜压力传感器,与其它有什么不同?
@与***爸:
溅射薄膜压力传感器,就是在不锈钢(一般用17-4ph)弹性体上溅射镀膜技术生成压敏电阻惠斯通桥。再把这个弹性体焊接在不锈钢外壳内,加上信号处理电路转换成电压或者电流输出。
我了解的是,国外的品牌有丹佛斯和GEMS, 国内还没有听说。欢迎了解的补充
溅射薄膜压力传感器的优点是承受压力高,可以工作在1600bar,耐压和破裂压力高。相对同样耐压产品,具备更低成本优势。
@传感器专家网-杨军:
溅射膜压力传感器,是采用离子束溅射和刻蚀技术,在不锈钢弹性膜片上制作薄膜电阻构成惠斯通电桥,流体压力作用在不锈钢弹性膜片上,使之产生形变,引起电阻值变化,电桥输出与压力成比例的电信号,通过一系列的信号处理和误差修正,转换为标准的电信号输出,从而实现对压力的测量。
溅射膜压力传感器制作中的一些关键技术包括:弹性膜片的材料及加工、溅射薄膜制备技术、光刻和激光调阻技术、产品稳定性技术(包括弹性体应力、薄膜内应力、产品装配应力提前加速去除、薄膜晶格及结构缺陷稳定性处理等),这些都是制溅射膜压力传感器大批量低成本生产的瓶颈。
@O***魏:
可以这样理解,溅射膜传感器理论门槛并不高,但制造却不易。
难点不在于制造传感器本身,而是制造用于制造传感器过程中所需的专用仪器、设备、工具、产线、流程、标准。
下蛋不难,难的是先要有下蛋的鸡。
这也是很多产品的门槛,不在于产品本身技术有多高端,而在于系统性地解决制造过程中繁琐而且复杂的细节问题,问题解决了,壁垒也就建立起来了。
@传感器专家网-杨军:
溅射膜压力传感器主要的优点是受温度的影响较小,温度性能远优于扩散规是压力传感器,例如,温度变化100摄氏度时,其零点温漂仅为千分之五水平,这一特性特别适合对高温高湿的恶劣应用场合。
因为制造工艺要求高,目前常见的溅射膜压力传感器应用,较多的出现在航空航天、国防军工,石油化工、工程机械液压传动等环境恶劣的应用场景,市场呈现出造价高、用量小、品质要求高的特点,亟需企业在制造工艺上努力攻关,降低生产制作成本,在尽量少牺牲性能指标的情况下实现对产品的大批量生产。
@刘***:
溅射薄膜压力传感器有量也就100左右。
只是国内没有好的工艺解决方案降低成本。
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