微纳米测量仪在微球和超高样品检测中的应用研究通过验收

　　2020年10月27日，上海市市场监督管理局主持召开了由上海计量院承担的科研项目“微纳米测量仪在微球和超高样品检测中的应用研究”验收会。与会专家听取了项目组的汇报，审阅了项目组提供的验收资料后，一致认为该项目达到计划任务书既定的考核指标，同意项目通过验收。

　　项目针对超精密加工领域中典型零部件微球和超高样品的表面形貌检测需求，对跨尺度微纳米测量仪的多维定位样品台、测头扫描子系统和应用软件进行二次应用开发，完成微球检测系统的设计与实现、超高超宽样品检测系统的设计与实现和微纳米测量仪测量指标提升与评价等研究工作。项目组发表学术论文2篇，申请发明专利1项，获得软件著作权6项。

　　项目是在上海计量院承担的重大科学仪器设备开发专项成果基础上，继续钻研微纳米测量技术，进一步提升了微纳米测量仪的测量范围、重复性及测量不确定度，并解决微纳制造领域的相关应用问题。