国产8英寸石墨烯晶圆亮相 已实现小批量生产

　　在近日举行的2020中国国际石墨烯创新大会上，8英寸石墨烯单晶晶圆的亮相，吸引了笔者的目光。

　　有媒体报道称，它「展示了我国在高质量石墨烯材料领域的创新成果」。报道表示「在上海市石墨烯产业技术功能型平台的推动下，科研团队实现了这些成果的小批量生产，产品尺寸和质量处于国际『领跑』地位」。

　　据悉，中科院上海微系统所科研团队自2009年起瞄准石墨烯单晶制备及其电子器件应用的课题开始了攻关研究。

　　中科院上海微系统所副研究员吴天如表示：「就像制造硅芯片的材料是一片片硅单晶晶圆，想用石墨烯等碳基二维材料实现电子器件集成，开启微电子技术变革，就必须制备出大尺寸、高质量的石墨烯单晶晶圆。」

　　科研团队在国家科技重大专项、上海市科技创新行动计划项目支持下，从生长出单层到单晶，再到原子级平整的大面积晶圆，让石墨烯从用胶带剥离出几微米的样品，升级为可以规模化生产的8英寸晶圆。

　　为早日实现石墨烯晶圆量产，中科院上海微系统所2019年9月与上海市石墨烯功能型平台签订了协议，提供有成本竞争力的产业应用。

　　石墨烯晶圆的小批量生产，被认为是为新一代国产电子器件的研发奠定了基础。