ASML光刻机能否卖给中国？国产光刻机走到哪一步?

　　10月14日，光刻机霸主荷兰阿斯麦(ASML)公司发布了最新财务报告，数据统计显示，第三季度ASML当季实现营收40亿欧元，净利润高达11亿欧元(约合87亿元人民币)。

　　2020年前三季度，ASML总共实现净销售额97.24亿欧元，较去年同期77.83亿欧元提高近25%;净利润22.03亿欧元同样大幅提升51%。ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元，毛利率50%左右，2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元。

　　据悉，第三季出售的60台光刻机为公司提供了近31亿欧元的营收，其中有14台是EUV光刻机，数量占比约23%，但却提供了66%的营收，从而也足以见得EUV光刻机的重要程度。

　　这60台光刻机都卖给了谁?台积电拿下了将近一半数量，剩下的则卖给了三星、英特尔这些企业。从地区上来看，中国台湾贡献了光刻机收入的47%，韩国贡献了26%，中国大陆企业贡献了21%。

　　光刻机到底能不能卖给中国?回应：可以但有限制

　　如此看来，中国是ASML光刻机最大的市场，ASML甚至在财报中立下目标，将中国市场2020年的销售收入小幅提升到10亿欧元以上(约79亿元人民币)。

　　但此前受中芯国际EUV光刻机迟迟难以交付消息的影响，一直有传言称ASML光刻机出口中国必须获得相应许可证，由此给国产芯片制造产业带来了莫大难处。

　　光刻机到底能不能卖给中国?在这次ASML的财报会议的视频采访中，ASML CFO Roger Dassen提到了与中芯国际等中国客户的业务情况，他表示一些情况下出口光刻机是不需要许可证的。

　　Roger Dassen指出，按照该司对美国新规的整体理解，如果阿斯麦从荷兰向中国买家供应DUV光刻系统，无需出口许可证。但是直接出口涉及到美国方面的零部件及设备，阿斯麦则必须提交出口申请，待获批后才能进行正常买卖。

　　换句话说，一般的光刻机包括DUV光刻机在内的都可以卖，但EUV光刻机必须要获得许可证。

　　DUV光刻机和EUV光刻机有什么区别?简单来说，DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography)，EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。两种不同的光源让光刻机获得了不同的曝光能力，从而获得不一样的工艺制程范围。

　　DUV光刻机最多只能做到25nm，英特尔曾凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下，后来胡正明教授(梁孟松的老师)发明了FinFET工艺之后，极尽所能的压榨了这台机器的潜能，让它走到了7nm制程。

　　但是即使采用了FinFET工艺，芯片再想往5nm、3nm先进工艺继续延伸，那就不得不使用EUV光刻机了。因此，DUV光刻机和EUV光刻机的价格差别也很大，DUV光刻机的价格为2000万-5000万美金/台，而EUV的价格是1-3亿美金/台。

　　那么，ASML此番表态也等于是表明了自己的态度，一般的光刻机可以卖给你，但是好又贵的EUV光刻机，想卖给中国却是有心无力。

　　国产光刻机走到哪一步?

　　世界上做光刻机的除了ASML以外还有尼康和佳能，但是为什么各大企业都想购买ASML的光刻机?很简单，在繁杂的光刻机制造过程中，ASML扮演的是集大成者，将全球范围内近8000个核心零部件整合最终造出一台光刻机，其设备上不仅拥有最顶级的光源技术(激光系统)，在其他精密仪器方面也达到了世界顶端。

　　虽然最近十几年我国一直在致力于研究光刻机，但是取得的成果并不是很明显，目前我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的90nm光刻机。

　　90nm跟28nm或者是7nm从数字上来看差距不大，但光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加，从90nm跨越到65nm并不难，再从65nm升级到45nm难度加大，至于28nm、14nm、7nm、5nm，甚至未来有可能出现的3nm、2nm，难度进一步加大。也正因为如此，我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢。

　　对我国来说，要想制造高端芯片，在当前肯定是离不开海外巨头的支持。但是未来必须将核心技术掌握在自己手里，不过时间到底要多久还很难说。